洁净室清洁对每个部位的清洁都规定了一整套的清洁步骤清洁人员都需经专业培训上岗，清洁遵循“从上到下，从里到外”的原则，再按“部分重叠法，沿直线方向”的方法进行清洁。通常，清洁应从最需严格控制洁净度的区域做起，逐渐过渡到级别不高的区域。

进入洁净室注意事项：

1、在洁净室内走动时动作宜轻不得奔跑，以避免影响气流。

2、在洁净室内工作，若暂停操作时不可以脱口罩及手套做短暂休息。

3、进入洁净室时须先经过洗尘室。

4、进入洁净室工作人员必须穿着合身之无尘衣服及鞋子。

5、设备维修如有必要坐、卧或躺时，须于地上铺上专有之塑料布。

6、脱除无尘衣须先脱除：口罩、无尘鞋、无尘衣、发罩、手套、并依标示分类摆放或丢弃。

7、口罩的正确扣戴方式是以无尘衣头罩后面上方扣带扣戴。

8、洁净室工作人员不可携带非无尘笔记本进入洁净室。

9、洁净室内不得使用铅笔、书写一律使用原子笔，书写错误时也不可以用修正液修改。

10、着无尘衣之要求是遮口遮鼻、头发不得外露、衣袖、口须包住手套口、避免手腕外露。

11、洁净室内高架地板不可随意拉启，以免影响气流及人员安全。

12、着装完后，不可进入监控室。

13、进入洁净区工作的人均不得使用化妆品（如口红、腮红、香水等）。

14、进入洗尘室注意事项：不可并行，两人身体须保持30公分以上，双手插腰，慢速通过，严禁奔跑。

15、降低微尘之方法是：保持头、手、身上干净。

16、于洗尘室内洗尘时，两人身体前后须保持30公分以上。

17、穿著无尘衣之前需先扎好头发然后戴上发罩。

18、人是洁净室最大污染源。